Продовження оснащення вакуумної установки пристроями введення ультразвукових коливань. Опрацювання технологічних процесів осадження сегнетоелектричних плівок в умовах ультразвукової стимуляції. Дослідження надтонкої сегнетоелектричної плівки та елементів
ДК 021:2015: 71350000-6 — Науково-технічні послуги в галузі інженерії